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中束流离子注入机新闻

从“差三代”到“全覆盖”！国产芯片制造核心装备实现新突破

2012年底，研发团队成功研制出28纳米中束流离子注入机，陈辉带着设备进驻用户单位。按规定，要在两年内完成产线工艺验证。实际上，除去大规模量产前的稳定性验证和试投产，真正留给工艺验证的时间只有一年左右。 2024-03-19